金融界2025年5月8日消息，国家知识产权局信息显示，SK恩普士有限公司申请一项名为“具有改进的浆料流动性的抛光垫和使用其制备半导体装置的方法”的专利，公开号CN119927794A，申请日期为2024年11月。

　　专利摘要显示，由于在根据本发明实施方案的抛光垫中，除了同心形式的第一凹槽之外，还采用了特别设计的径向形式的第二凹槽，因此可以改进浆料的流动性，并且可以改变晶片曲线和抛光速率。

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